Poluvodički CNC obrađeni dijelovi

Izrađujemo po narudžbipoluvodički CNC obrađeni dijeloviiz crteža kupaca i CAD datoteka, uključujućikomponente vakuumske komore, ploče za distribuciju plina i fitinzi, dijelovi za rukovanje pločicama i dijelovi za stezanje, komponente pumpe i ventila, RF dijelovi, ploče za hlađenje, hladnjaci i komponente procesnog kompleta. Naše mogućnosti CNC tokarenja, glodanja, 5-osinske obrade, švicarskog CNC-a i okretnog{3}}glodala podržavaju komponente uske tolerancije za graviranje, taloženje, litografiju, ionsku implantaciju, CMP i mjeriteljsku opremu.

 

Dijelovi poluvodičke opreme žive u drugačijem svijetu od običnih industrijskih dijelova: moraju preživjetizahtjevi za vakuum, korozivne procesne plinove, plazmu, cikliranje temperature i{0}}kontrolu čestica. Stoga je odabir materijala prva odluka u bilo kojem projektu strojne obrade poluvodiča. Obrađujemo precizne ocjene -316L VIM-VAR i nerđajući 316L, aluminijum 6061-T6 i 7075-T6, titanijum 5 razreda, TZM molibden, OFHC bakar C10100, legure nikla i PEEK/PTFE inženjerske plastike- i primijenite završne slojeve kompatibilne s čistim prostorima{1}} gdje ih aplikacija zahtijeva. Dijelovi se izrađuju prema specificiranim dimenzijama, tolerancijama, materijalima i zahtjevima za završnu obradu, a certifikati materijala dostupni su na zahtjev.

 

Od pojedinačnih prototipova za razvoj novih alata do ponavljanja proizvodnje za rezervne procesne komplete, obrađujemo poluvodičke komponente do crteža - bez obzira na količinu.

 

Pošaljite svoj crtež poluvodičkog dijela- pošaljite svoj crtež ili CAD fajl na pregled materijala i mašinske obrade.

 

Imate prilagođeni poluprovodnički dio? Pošaljite svoju CAD datoteku

 

 

Za poluvodičke komponente, odabir materijala ovisi ovakuumska kompatibilnost, procesna kemija, otpornost na plazmu, temperatura, magnetizam, stvaranje čestica i upravljanje toplinom. Obrađujemo niz metalnih i inženjerskih plastičnih materijala za komore, plinske sisteme, rukovanje pločicama, RF i termalne dijelove.

Materijal	Uobičajene ocjene	Tipične primjene poluvodiča	Ključne prednosti
Aluminijum	6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32	Tijela komora, osnovne ploče, robotske ruke, hladnjaci, nosači	Lagan, anodiziran, dobra toplotna provodljivost; 6061-T6 je radni konj za hardver komore
nerđajući čelik	304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630)	Vakumske prirubnice, plinski spojevi, dijelovi ventila, hardver visoke{0}}vrste	Otpornost na koroziju i temperaturu; 316L VIM-VAR je standard za UHV low-usluge ispuštanja gasova
Titanijum	Grade 2 (CP) · Grade 5 (Ti-6Al-4V)	Dijelovi za distribuciju plina, procesni setovi, hardver za mokru obradu	Otpornost na plazmu i hemikalije, visoka čvrstoća-prema-težini, nemagnetna
Bakar	C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 berilij bakar	RF dijelovi, rashladne ploče, kontaktne opruge, električni hardver	Odlična električna i toplotna provodljivost; OFHC idealan za RF i upravljanje toplotom
Legure nikla	Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36	Fitingi{0}}otporni na hemikalije, dijelovi na visokim{1}temperaturama, metrološke strukture	Hemijska i temperaturna otpornost; Invar 36 nudi skoro{1}}nultu termičku ekspanziju

 

 

Niste sigurni koja ocjena odgovara vašem dijelu?Pošaljite nam procesno okruženje (nivo vakuuma, hemija gasa, temperatura, izloženost RF zračenju) zajedno sa vašim crtežom - mi ćemo preporučiti materijal i završnu obradu površine prije ponude.

 

Poluprovodničke komponente često zahtijevaju preciznost na nivou mikrona-na zaptivnim površinama, montažnim datumima, kontaktnim površinama-vafera i preciznim otvorima, tako da se alati pravilno sklapaju i procesi ostaju ponovljivi.

 

Specifikacija	Tipična sposobnost	Tipične primjene poluvodiča
Linearne dimenzije	±0,01 mm (preciznost do ±0,005 mm)	Dijelovi komore, osnovne ploče, razdjelnici
Promjer provrta i osovine	±0,005–0,01 mm	Rotori pumpi, vretena ventila, precizni spojni elementi
Ravnost	Do 0,01 mm/100 mm	Zaptivne površine, rashladne ploče, kinematički nosači
Koncentričnost / Runout	Do 0,01 mm	Dijelovi rotirajućih pumpi, spojnice
True Position	±0,01 mm	Šeme rupa za vijke, rupe za distribuciju gasa
hrapavost površine	Ra 0,2–0,8 μm standard; Ra 0,1–0,4 μm na zahtjev	Brtvene površine, kontaktne površine{0}}vafela, unutrašnjost komore
Edge Deburring	Kontrolisano po crtežu (mikro{0}}dostupno uklanjanje ivica)	Svi dijelovi{0}}kritični za čestice
Thread Tolerance	Prema ISO/ASME zahtjevima	Fitingi, prirubnice, montažni okovi

 

Kritične karakteristike koje kontrolišemo

Brtvljenje i O-žljebovi za prstenove- kontrolirana dubina, širina i završna obrada površine za vakuumske i fluidne brtve.

Vafer{0}}Kontaktne površine- kontrola ravnosti i hrapavosti kako bi se izbjeglo oštećenje pločice i stvaranje čestica.

Precizni provrti i uklapanje- precizni provrti za ležajeve, osovine i komponente za presovanje{1}}.

Rupe za distribuciju gasa- tačna veličina rupe, položaj i uklanjanje ivica za ravnomjeran protok plina.

Datum i karakteristike montaže- konzistentnih podataka za ponovljivo sastavljanje i poravnanje.

 

Završna obrada površine je dio strategije kontaminacije i korozije u poluvodičkoj opremi. Prava završna obrada kontroliše čestice, ispuštanje gasova, hemijsku otpornost i električno ponašanje.

Niste sigurni koji završetak odgovara vašem procesu?Pošaljite svoj crtež, materijal i aplikaciju za preporuku za završnu obradu.

 

Provjeravamo kritične dimenzije, nasjedanje, ravnost, izbočenje i zahtjeve površine tijekom proizvodnje kako bismo osigurali da CNC obrađeni poluvodički dijelovi odgovaraju crtežu. Za projekte koji zahtijevaju dokumentiranu kvalitetu, možemo dostaviti certifikate materijala, izvještaje o dimenzijama i dokumentaciju o čistoći koja će podržati vašu dolaznu inspekciju.

Trebate dokumentovanu kontrolu kvaliteta?Pošaljite nam svoje crteže i zahtjeve za pregled.

 

Poluprovodnički projekti često počinju sa prototipovima - novim dizajnom alata, razvojem procesnih kompleta, nadogradnjom dijelova ili zamjenskim komponentama koje moraju biti potvrđene prije proizvodnje. Mi podržavamoprototip i -CNC obrada male količineod početnih uzoraka do ponovljenih malih{0}}narudžbi.

Pogodno za

Vakuumska komora i hardver za dovod gasa

Komponente za rukovanje i stezanje pločica

Dijelovi za jedkanje, taloženje i ionsku implantaciju

RF, električni i termalni dijelovi upravljanja

Oprema za mjeriteljstvo i inspekciju

Rezervni dijelovi i procesni setovi za postojeće alate

 

Pakovanje

Individualna zaštita:PE vrećice, pjena ili zaštitni film za obrađene površine

Pakovanje čiste sobe:Očišćeni dijelovi dvostruko-pakirani u čiste vrećice (dostupna opcija-prečišćavanja dušikom)

Mali dijelovi:Podijeljeni kartoni za sprječavanje grebanja i kontakt{0}}do{1}}dijela

Precizni dijelovi:Umetci od pjene i odvojeni pretinci za kritične komponente

Prilagođeno pakovanje:Brojevi dijelova, oznake, količine i specifični zahtjevi kupca za pakovanje

 

Tipično vrijeme isporuke

Vrsta narudžbe	Tipično vrijeme isporuke
Prototip	5–10 radnih dana
Mali-narudžba	10–20 radnih dana
Production Order	15–30 radnih dana
Ponovite narudžbu	10–25 radnih dana

 

Trebate određeni raspored isporuke?Pošaljite svoje crteže, količine i zahtjeve za završnu obradu za{0}}konkretnu ponudu.

 

Pošaljite svoj 2D crtež ili 3D CAD datoteku, razred materijala, količinu, toleranciju i zahtjeve za završnu obradu.

 

Popularni tagovi: poluvodički cnc obrađeni dijelovi, Kina poluvodički cnc obrađeni dijelovi proizvođači, dobavljači, tvornica, titanijum